Salle blanche du LPMIA : Groupe micro-capteurs

<body bgcolor="#ffffff" text="#000000" link="#0000ff" vlink="#800080" alink="#ff0000"> <h1>Salle blanche du LPMIA : Groupe micro-capteurs</h1> <h2>Salle de microtechnologie du Laboratoire des milieux ionisées et applications.</h2> <a href="description/pulve/index.html">Pulvérisation cathodique AC450 pour dépôts metalliques oxydes et nitures</a> <a href="description/lithographie/index.html">Lithographie optique UV MA450</a> <a href="description/rie/index.html">Gravure réactive par plasma RIE</a> <a href="description/profilo/index.html">Profilomètre</a> <a href="description/bounding/index.html">Micro Connections</a> <a href="description/evap/index.html">Bâti d'évaporation pour dépôts metalliques</a> <a href="description/lithoe/index.html">Lithographie électronique</a> <a href="description/prober/index.html">Caractérisation sous pointe</a> Auteur : <a href="http://bouvot.laurent.free.fr/">Laurent BOUVOT</a> </body>